如果傳感器是使用MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)和制造的，那么它被稱(chēng)為微機(jī)械微傳感器或簡(jiǎn)稱(chēng)為MEMS傳感器。MEMS技術(shù)的主要實(shí)施者之一是汽車(chē)行業(yè)。現(xiàn)代汽車(chē)使用大量傳感器，其中大多數(shù)是基于MEMS的設(shè)備。MEMS傳感器已被用于各種應(yīng)用，例如控制和處理設(shè)備、管理機(jī)器人、汽車(chē)、夾具等。您可以在現(xiàn)代噴墨打印機(jī)、彩色投影儀、顯示系統(tǒng)、時(shí)鐘和掃描設(shè)備中找到這些傳感器。

　　MEMS技術(shù)用于制造不同的傳感器，如壓力、溫度、振動(dòng)和化學(xué)傳感器。加速度計(jì)、陀螺儀、電子羅盤(pán)等是汽車(chē)、直升機(jī)、飛機(jī)、無(wú)人機(jī)和船舶中常用的一些MEMS傳感器。

　　下面提到了基于MEMS的傳感器的一些應(yīng)用領(lǐng)域：

　　1.汽車(chē)2.化學(xué)制藥3.飛機(jī)4.工業(yè)自動(dòng)化與制造

　　5.國(guó)防、航天和航空6.環(huán)境與健康科學(xué)7.計(jì)算和通信8.消費(fèi)產(chǎn)品